光刻机是什么样子的(光刻机是什么)
2024-06-17 20:00:23
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导读 大家好,小乐来为大家解答以下的问题,光刻机是什么样子的,光刻机是什么很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、光刻机(Mask Align...
大家好,小乐来为大家解答以下的问题,光刻机是什么样子的,光刻机是什么很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
2、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
3、Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);
4、在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
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